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如何选用Z合适的晶振片?

点击次数:1926 发布时间:2012-03-15

镀膜科技日新月异,对于镀膜工程师来说,如何根据不同的镀膜工艺选择zui佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考:

1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片

    zui常见的镀膜是镀AlAuAgCu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层

    NiCrMoZrNi-CrTi、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基片上剥落或裂开,以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时,这些情况可以容忍,但在一些情况下,会对蒸发源的功率控制有不良作用。

3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜

    MgF2SiO2Al2O3TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学镀膜,但这些膜料也是zui难监控的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非常良好的结合力,所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。

    这时候,选用合金晶振片将是的选择,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合金晶振片监视氟化镁,有效寿命比镀金的长100%。如果把冷却水的温度从20度提高到50度,晶振片的寿命更可以再延长一倍。

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